강현우 | 기자 작성일 2026년 03월 19일
새로운 UltiDry 다단 회전 로브 진공 펌프 (출처: Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions)
글로벌 기업 Busch Group의 계열사인 Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions가 새로운 UltiDry 다단 회전 로브 진공 펌프를 선보였다. 까다로운 반도체 응용 분야를 위해 설계된 UltiDry는 강력한 성능과 높은 에너지 효율성, 공정 유연성을 갖추고 있습니다.
UltiDry 진공 펌프는 부식성 가스와 공격적인 부산물, 무거운 분말 부하를 견딜 수 있도록 설계됐습니다. 오일프리 다단계 압축 방식은 오염 없이 깨끗하고 건조한 진공 생성을 보장해 화학기상증착(CVD), 원자층 증착(ALD), 물리적 증착(PVD)과 같은 공정에 적합합니다.
특허받은 퍼지 시스템과 높은 에너지 절감 효과
UltiDry의 핵심 혁신은 진공 펌프 보호를 위해 개발해 특허받은 퍼지 주입 시스템입니다. 이 시스템은 파우더와 같은 오염 물질을 효과적으로 세척해 파우더 집약적 공정에서도 안정적인 성능과 원활한 작동을 보장합니다.
반도체 제조에서 에너지 소비 비용은 중요한 요소입니다. UltiDry는 최적화된 다단계 루츠 설계 덕분에 동급 진공 펌프 대비 최대 87%의 에너지 절감 효과를 제공합니다. 이는 탄소 발자국 감소는 물론 고객의 지속 가능성 및 비용 효율성 목표 달성에도 기여합니다.
이 진공 펌프는 50°C에서 270°C까지 넓은 온도 범위에서 안정적으로 작동해 다양한 공정 요건에 유연하게 대응합니다. 온도에 민감한 코팅 공정과 부식성 반도체 응용 분야 모두에 적합하며, 내부식성 코팅과 세척 가스 사용 감소, 높은 에너지 효율성으로 유지 보수 부담이 적습니다.
Busch Group 소개
Busch Group은 진공 펌프, 진공 시스템, 블로어, 컴프레서 및 가스 저감 시스템을 제조하는 세계 최대 규모의 제조업체 중 하나입니다. 산하 브랜드로 Busch 진공 솔루션과 Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions가 있으며, 전 세계 44개국에서 8,000명 이상의 직원이 근무하고 있습니다. 본사는 독일, 프랑스, 스위스의 3개국 접경 지역에 위치한 마울부르크에 있으며, 23개 자체 생산 플랜트를 운영하고 있습니다. Busch Group의 연간 통합 매출은 약 20억 유로입니다.