강현우 | 기자 작성일 2026년 03월 26일
HORIBA CS-900F 제품 메인 본체(왼쪽)와 셀 유닛(오른쪽)
HORIBA 그룹의 액체 계측 전문 기업 호리바 어드밴스드 테크노(본사 교토)가 광섬유식 비접촉형 약액 농도 모니터 'CS-900F'를 2026년 3월 26일 출시했다.
반도체 웨이퍼의 세정 및 에칭 공정에서 약액 농도를 측정하는 'CS' 시리즈는 1995년 첫 출시 이후 고객 요구에 맞춰 지속적으로 발전해 왔다. 신제품 'CS-900F'는 배관 부착만으로 약액을 비접촉 방식으로 측정할 수 있어 약액 누출 및 오염 위험을 크게 낮췄다.
또한 광섬유 케이블을 도입해 분광기를 메인 유닛으로 이전함으로써 장치 내부에 설치하는 셀 유닛의 부피를 기존 대비 약 60% 줄였다. 이를 통해 대폭적인 소형화를 실현했으며, 내부 레퍼런스 메커니즘을 탑재해 진동 등 외부 영향을 줄이면서도 높은 측정 정확도를 유지한다.
개발 배경
반도체 제조 공정에서 약액 처리는 웨이퍼 표면 처리의 균질성에 직결되며, 수율을 좌우하는 핵심 공정이다. 호리바 어드밴스드 테크노는 2019년 비접촉식 약액 농도 모니터 'CS-900'을 출시한 바 있으며, 이를 계승한 신제품은 반도체 산업에서 공통으로 요구되는 설치 면적 감소 과제를 광섬유 방식으로 해결했다. 'CS' 시리즈 출시 이후 30년간 축적된 기술을 기반으로 시장 요구에 부응한다.
제품 특장점
1. 소형화와 안정 측정의 양립
메인 유닛과 셀 유닛을 광섬유 케이블로 연결하는 방식을 통해 기존 셀 유닛에 내장돼 있던 분광기를 고객 장치 외부 메인 유닛으로 옮길 수 있게 됐다. 그 결과 셀 유닛 부피가 기존 대비 60% 감소했으며, CS 시리즈의 강점인 내부 레퍼런스를 탑재해 진동 등 외부 영향을 최소화하면서 안정적인 측정 성능을 구현한다.
2. 측정 가능 약액 종류 확대
신제품은 최고 80℃ 고온 약액을 포함한 다양한 약액 측정이 가능하며, 파장 영역대를 기존의 3배로 확대해 대응 가능한 약액 종류를 대폭 늘렸다. 표준 SC-1(암모니아-과산화수소용액)을 비롯한 질산, 인산, 초산의 혼합액 등 복잡하고 위험한 약액 공정에도 전처리 없이 고온 약액을 직접 측정할 수 있어 안전한 작업 환경 구현에 기여한다.
호리바에스텍코리아 소개
HORIBA 그룹은 차량 연구개발, 프로세스 및 환경 모니터링, 체외 의료 진단, 반도체 제조 및 계측 등 다양한 분야에 시스템과 솔루션을 전 세계에 제공하고 있다. HORIBA 브랜드는 입증된 품질과 신뢰할 수 있는 성능으로 고객들에게 믿음직한 파트너로 인정받고 있다.